연구개발

과제명

반도체 소모품 실증센터 구축

안전관리형 과제

X

개요 및

필요성

ㅇ (개요) 글로벌 반도체 공급망 재편과 국가 간 경쟁 심화에 대응하기 위해 시제품제작, 시험테스트, 성능검증 등 소재부터 부품단위까지의 반도체 공정용 세라믹 소모품에 대한 전주기 실증지원을 통해 제품개발과 시장진입 지원

ㅇ (필요성) 반도체 공정용 세라믹 소모품은 해외 선도기업과의 기술격차가 크고, 신뢰성을 인정받은 주요기업이 시장을 주도하고 있어 연구개발과 양산단계에서의 테스트 및 공정안정성 실증지원을 통한 핵심전략기술 확보가 필요

과제목표

ㅇ (최종목표) 반도체 공정용 세라믹 소모품의 양산단계 실증테스트 지원을 위한 Test-Bed 기능의 기반구축을 진행하고, 기구축 인프라와 연계한 전주기 실증지원을 통해 시장선도 핵심기술 확보

구분		1단계 : ’24년~’26년(3년)	2단계 : ’27년~’28년(2년)
건축		- 부지 확보 및 설계 - 건축 진행 및 준공	센터운영
장비 구축	장비	- 성능검증(시험분석) 장비구축 공정 안정성(기초성능) 검증	성능검증 장비 구축 및 운영 공정안정성(양산장비) 검증
	가동률	- 60% 이상(최종연도 기준)
장비 운영	시험· 평가 등	세라믹 소모품 성능·양산 시험표준 절차서(Manual 등) 10건 이상 성능·양산 시험 표준화(성능, 안전성) 20건 이상
	기타	소재→부품→실증의 전주기 실증지원 체계구축 기술협력을 위한 국내·외 인프라와 연계한 비즈니스 플랫폼 구축 10건 이상

ㅇ (대상분야 및 범위)

- (반도체 공정용 세라믹 소모품) 반도체 공정장비 내 세라믹 소모성 부품으로 사용되는 있는 포커스링, 히터, 정전척(ESC), 쿼츠웨어, 서셉터 등에 대한 양산단계 실증테스트 지원

과제내용

ㅇ (기반구축) 반도체 공정용 세라믹 소모품 관련 기업의 수요를 반영하여 연구, 시제품제작 및 실증지원을 위한 센터설립 및 장비구축

- 성능 및 공정안정성 검증 시스템 구축 : 성능검증을 위한 시험분석 장비와 공정안정성 검증을 위한 양산장비 구축

- 전주기 실증 체계구축: 기구축 인프라와 연계한 소재 및 부품단위 시제품생산과 실증테스트를 지원하는 전주기 실증지원 체계구축

- 성능평가 표준화 시스템 구축 : 소모품 발주 업체 간의 성능 테스트 기준의 신뢰성을 높이기 위해 시험평가 방법, 절차 개발 및 절차 표준화

- 식각 및 증착 공정 실증 테스트 진행을 위한 관련 안전기준 확보

ㅇ (기업지원) 제품의 성능과 기술적 안정성을 검증하기 위한 실증지원

- 수요제품 및 기술에 대한 수요를 반영한 시제품제작지원

- 수요-공급 연계형 제품개발 및 양산단계 실증테스트 지원

- 안정적이고 신뢰성 높은 제품을 공급하기 위한 시험테스트 지원

- 수요산업과 시장현황을 파악하고, 시장진입 지원을 위한 네트워크 구축

주요 구축

인프라

ㅇ 실증센터 설립

- 소모품 기술실증 및 기업의 연구지원 등 혁신활동을 위한 Test-Bed 기능의 센터설립(실증테스트 신뢰성 확보를 위한 클린룸 포함)

ㅇ 실증지원 장비구축

- 반도체 공정용 세라믹 소모품 관련 기업의 수요기반 성능 및 품질검증 장비*와 제조공정 안정성 및 신뢰성 확보를 위한 양산테스트 장비구축

* 300 mm급 양산용 반도체 공정용 장비 포함

ㅇ 실증지원 체계구축

- 소재 및 부품의 시제품생산과 실증테스트를 연계한 전주기 실증지원 체계구축

- 성능, 공정 안정성 실증을 통한 시장선도 핵심기술 확보 시장진입 지원

- 국내·외 전문기관 및 산·학·연 전문가 네트워크 설계 및 구축

- 국내·외 수요 및 공급기업을 연계한 비즈니스 플랫폼 구축

활용방안

ㅇ 반도체 공정용 세라믹 소모품 기업의 제품개발과 시장진입 지원

ㅇ 기구축된 인프라와 실증센터의 테스트베드 환경을 연계한 전주기 실증지원 체계 구축

ㅇ 소모품의 연구개발과 양산단계에서의 테스트 및 공정안정성 실증지원을 통한 시장선도형 핵심전략기술 확보 및 경쟁력 향상

전체 연구개발기간

2024년∼ 2028년 (5년 이내)

(1차 연도: 2024년 5월~12월)

총 정부지원연구개발비

(’24년 정부지원연구개발비)

14,475백만원 이내

(1,930백만원)

주관연구

개발기관

□산업체 ■대학 ■연구소 ■비영리법인 □제한없음

공동연구

개발기관

□산업체 ■대학 ■연구소 ■비영리법인 □제한없음

* 상기의 정부지원연구개발비는 예산 현황 및 평가결과에 따라 변동 될 수 있음

** 정부지원연구개발비 지원기준 : 「산업기술혁신사업 기반조성사업 평가관리지침」 <별표4> 사업비 구분별 정부지원연구개발비 인정기준 참조

반도체 소모품 실증센터 구축사업 제안요청서(RFP)